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紫外掩膜曝光系统可分为接触式、接近式和投影式三种

在半导体制造和微纳加工领域,有一种设备能够将设计好的电路图案较为准确转移到硅片或其他基板表面。这种设备利用紫外光源照射掩膜版,使光刻胶发生化学变化,从而在基板上形成所需图形。紫外掩膜曝光系统的核心功能是将掩膜版上的图形通过光学投影方式复制到...

2026-06-23

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