SPIN150x 高质量基底旋涂机

设计

外壳和排水设计便于在桌面式和内置式机型之间切换。模块化设计使用户能够通过多种不同的配件升级设备，从而简化分配操作和整体处理流程。

液体过滤捕集器

SPINx 系列配备液体过滤捕集器，用于保护旋涂机的关键部件。它能将通过处理腔室或真空卡盘进入真空管路的所有液体或抗蚀剂收集在液体容器中。通过旋涂机外壳上的开口可查看该容器，便于维护。

自动盖子

可通过用户界面或脚踏板（非常适合手套箱环境使用）自动打开和关闭盖子。此外，还可以在工艺配方的最后一步自动打开盖子。

电机回零位置

新款 SPINx 系列能够设定电机回零位置，便于集成到机器人控制 / 自动化环境中。

标准配件：

• 适用于 4-6 英寸晶圆的真空卡盘

• 适用于 10 毫米及更大尺寸碎片的碎片适配器

适用工艺：

• 涂层

• 清洁

• 漂洗 / 干燥

• 显影

• 蚀刻

• PDMI 及其他工艺

硬件规格：

• 液体过滤捕集器

• 自动盖子（高级版还可通过脚踏板控制）

• 可编程电机回零位置

• 用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架

• 用于用户安全的盖子锁和真空传感器

• 大尺寸（可拆卸）触摸显示屏

• 用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新的 USB 端口

• 驱动单元规格：间接式无刷驱动单元，最高 12,000 转 / 分；高加速度和精度，1-30,000 转 / 分；顺时针 / 逆时针旋转和 puddle 模式；可在桌面式和内置式机型之间切换的设计