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SPIN450x 高质量基底旋涂机

简要描述:SPIN450x 高质量基底旋涂机是优良的系统,可提供精确且可重复的过程控制。空气动力学高效的腔体提高了均匀性,而天然聚丙烯工艺腔体确保了无污染且易于清洁的工艺区域。所有设备都具备可编程的顺时针和逆时针旋转以及积液功能。

产品型号:

所属分类:SPIN450x 高质量基底旋涂机

更新时间:2025-08-15

厂商性质:生产厂家

详情介绍

SPIN450x 高质量基底旋涂机



产品说明


POLOS 450 Advanced 单基片旋转处理机,台式版本,配备 NPP 外壳、旋转杯、手动化学品分配装置及重型电机。空气动力学高效腔体可提高均匀性,而天然聚丙烯或不锈钢工艺腔室能确保工艺区域无污染且易于清洁。所有设备均具备可编程的顺时针和逆时针旋转功能以及积液功能。


适用于干燥、冲洗 / 清洁及自动涂布工艺。


规格参数:


  • 可处理最大基片尺寸:圆形基片直径 500 毫米,方形基片 350×350 毫米

  • 材质:天然聚丙烯(高等级 NPP,设备主体及所有接触液体的表面)

  • 配置:手动化学品分配装置、2 条自动静态分配管路

  • 盖体:气动开启与关闭

  • 吸盘配件:含 1 个真空吸盘,可适配最多 3 种晶圆尺寸

  • 最大转速:1500 转 / 分钟

  • 化学品分配方式:可自动顺序分配或并行分配

  • 透明盖体:中心周围配备 6 组喷射器组件(每组均可独立编程)

  • 旋转功能:顺时针及逆时针积液旋转

  • 显示屏:(可拆卸)彩色触摸屏,带可自定义图标

  • 排水接口:标准 1 英寸接口

  • 电机控制器:精密数字控制器(最大 1500 转 / 分钟)

  • 泵组模块:独立模块,内置 6 个蠕动泵


SPIN450x 高质量基底旋涂机





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