SPIN450x 高质量基底旋涂机
简要描述:SPIN450x 高质量基底旋涂机是优良的系统,可提供精确且可重复的过程控制。空气动力学高效的腔体提高了均匀性,而天然聚丙烯工艺腔体确保了无污染且易于清洁的工艺区域。所有设备都具备可编程的顺时针和逆时针旋转以及积液功能。
产品型号:
所属分类:SPIN450x 高质量基底旋涂机
更新时间:2025-08-15
厂商性质:生产厂家
详情介绍

产品说明
POLOS 450 Advanced 单基片旋转处理机,台式版本,配备 NPP 外壳、旋转杯、手动化学品分配装置及重型电机。空气动力学高效腔体可提高均匀性,而天然聚丙烯或不锈钢工艺腔室能确保工艺区域无污染且易于清洁。所有设备均具备可编程的顺时针和逆时针旋转功能以及积液功能。
适用于干燥、冲洗 / 清洁及自动涂布工艺。
规格参数:
可处理最大基片尺寸:圆形基片直径 500 毫米,方形基片 350×350 毫米
材质:天然聚丙烯(高等级 NPP,设备主体及所有接触液体的表面)
配置:手动化学品分配装置、2 条自动静态分配管路
盖体:气动开启与关闭
吸盘配件:含 1 个真空吸盘,可适配最多 3 种晶圆尺寸
最大转速:1500 转 / 分钟
化学品分配方式:可自动顺序分配或并行分配
透明盖体:中心周围配备 6 组喷射器组件(每组均可独立编程)
旋转功能:顺时针及逆时针积液旋转
显示屏:(可拆卸)彩色触摸屏,带可自定义图标
排水接口:标准 1 英寸接口
电机控制器:精密数字控制器(最大 1500 转 / 分钟)
泵组模块:独立模块,内置 6 个蠕动泵
