KLA HRP®-260 探针式轮廓仪

KLA HRP®-260 探针式轮廓仪是一款高分辨率、自动化探针式轮廓仪。HRP 提供用于产线的自动化晶圆产品测量能力，服务于半导体、化合物半导体、高亮度 LED、数据存储等相关行业。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量，扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。KLA HRP®-260 探针式轮廓仪提供与 P-260 相同的配置外加一个高分辨率样品台，可以以更高的分辨率去表征小型特征图案。

HRP^®-260 提供用于测量纳米和微米表面形貌的双样品台。P-260 配置提供长程扫描（长达 200 毫米）功能，无需拼接，且HRP^®-260 提供高分辨率扫描台，扫描行程长达 90 微米。P-260 结合了 UltraLite^®传感器、恒力控制和超平扫描样品台，可达到出色的测量稳定性。HRP^®-260的高分辨率压电扫描样品台加强了整体性能。使用点击式样品台控制、低倍和高倍率光学器件以及高分辨率数码相机，可快速轻松地设置程式。HRP^®-260 支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和数据分析算法来分析测量得到的样品表面形貌。通过自动晶圆处理、图形识别、多点量测和特征检测实现全自动测量。

性能

• 台阶高度：纳米级到 327 微米

• 恒力控制：0.03 至 50 毫克

• 扫描样品的全直径，无需拼接

• 影像：嵌入式低倍和高倍光学系统

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 软件：简单易用的软件界面

• 生产能力：全自动多点测量，图形识别和 SECS/GEM功能

• 晶圆传输机械手臂：自动加载直径为 75 毫米到 200 毫米的不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

• HRP:具有匹配AFM的高分辨率扫描样品台

应用场景

• 台阶高度：2D 和 3D 台阶高度

• 纹理：2D 和 3D 粗糙度和波纹度

• 形状：2D 和 3D 翘曲和形貌

• 应力：2D 和 3D 薄膜应力

• 缺陷检查：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工业

• 无线电产品制造业（SAW/BAW/FBAR）

• 半导体

• 化合物半导体

• LED：发光二极管

• MEMS: 微机电系统

• 数据存储

• 汽车