KLA Zeta™-388光学轮廓仪提供3D量测和成像功能，与集成防震台和晶圆操作系统结合，可实现全自动测量。该系统采用ZDot™ 技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-388支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件、低拥有成本和SECS/GEM通信。

KLA Zeta™-300光学轮廓仪可提供3D 量测和成像功能，与集成式防震台和灵活的配置相结合，可以处理更大的样品。该系统采用ZDot™ 技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-300支持研发和生产环境，具有多模光学组件、易于使用的软件和低拥有成本。

全新的KLA Zeta™-Solar光学轮廓仪专为满足优良金属化工艺中对于细栅线、接触垫和主栅线的测量需求而设计。更为优良的3D 成像技术，以及最大可容纳230mm x 230mm 规格太阳能电池片的 XY 载台，使得 Zeta-Solar 成为太阳能工艺研发和制程控制的理想专用量测机台。

KLA Zeta™-20光学轮廓仪是一个高度集成的光学轮廓显微镜，可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™ 技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-20 3D显微镜支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件和性价比高等优势。Zeta-20HR 提供专业的太阳能电池量测解决方案。

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光学轮廓仪和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。