KLA Filmetrics R50系列四探针电阻测试仪可对金属层厚度、薄膜电阻、薄膜电阻率、薄膜电导和薄膜电导率进行测绘。R54是方块电阻测量的最新一代升级款，它在保持 R50相同性能情况下提供遮光环境，能够支持半导体和化合物半导体应用。