KLA iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。

KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪采用自动化R-Theta平台，支持标准和定制化样品夹盘，最大样品直径达450毫米，能高效测绘薄膜厚度。该设备适用于多种厚度和类型的薄膜，包括薄至5纳米或厚至250微米的薄膜，并可根据不同需求选择不同波长范围的型号。

KLA Candela® 8420表面缺陷检测系统它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石和其他化合物半导体材料)提供微粒和划痕检测。 8420表面缺陷检测系统采用了专有的OSA（光学表面分析仪）架构，可以同时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位变化，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。

KLA Filmetrics F40薄膜厚度测量仪通过将显微镜转变为薄膜测量工具，实现小至1微米光斑的厚度和折射率测量。该设备配备集成彩色摄像机，可在1秒内完成测量，并且支持多种型号以适应不同厚度和波长范围的需求。用户只需将其连接至Windows计算机并通过USB端口操作即可。此外，F40系列提供全面的技术支持和材料库，方便用户进行精确测量。

KLA Filmetrics F30薄膜厚度测量仪通过实时监控沉积过程，提供高精度、快速且非侵入式的测量解决方案，适用于多种半导体和电介质材料。其主要特点包括提高生产力、低成本、高精度及易用性。该系列产品覆盖不同厚度和波长范围，满足多样化测量需求。