KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪以市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的优秀测量性能,为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描范围可达150mm,无需拼接。
台阶高度:纳米级到1000微米
恒定力控制:0.03至15mg
样品的全直径扫描,无需拼接
视频:5MP高分辨率彩色相机
弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差
软件:简单易用的软件界面
生产能力:全自动测量,具有测序、图形识别和SECS/GEM功能
台阶高度:2D和3D台阶高度
纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
形状:2D和3D翘曲、形状
应力:2D和3D薄膜应力
缺陷检测:2D和3D缺陷表面形貌
高校、实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED:发光二极管
太阳能
MEMS:微机电系统
数据存储
汽车
医疗器械