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KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪

简要描述:KLA Tencor® P-7探针式轮廓仪为生产和研发环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量,扫描范围可达150毫米,无需拼接。

产品型号:

所属分类:探针式轮廓仪

更新时间:2025-03-17

厂商性质:生产厂家

详情介绍

KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪以市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的优秀测量性能,为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描范围可达150mm,无需拼接。

KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪


特征

  • 台阶高度:纳米级到1000微米

  • 恒定力控制:0.03至15mg

  • 样品的全直径扫描,无需拼接

  • 视频:5MP高分辨率彩色相机

  • 弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差

  • 软件:简单易用的软件界面

  • 生产能力:全自动测量,具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪

应用

  • 台阶高度:2D和3D台阶高度

  • 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D和3D翘曲、形状

  • 应力:2D和3D薄膜应力

  • 缺陷检测:2D和3D缺陷表面形貌


  • KLA  Tencor® P-7探针式轮廓仪

工业

  • 高校、实验室和研究所

  • 半导体和化合物半导体

  • LED:发光二极管

  • 太阳能

  • MEMS:微机电系统

  • 数据存储

  • 汽车

  • 医疗器械






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