KLA Tencor® P-17探针式轮廓仪

KLA Tencor® P-17探针式轮廓仪是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。

出色的测量稳定性通过结合UltraLite^® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。KLA Tencor® P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。

特征

• 台阶高度：纳米级到1000微米

• 恒力控制：0.03至15mg

• 无需拼接即可扫描样品的全直径

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 软件：简单易用的软件界面

• 生产能力：具有测序、图形识别和SECS/GEM功能的全自动测量

应用

• 台阶高度：2D和3D台阶高度

• 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

• 形状：2D和3D翘曲形状

• 应力：2D和3D薄膜应力

• 缺陷检测：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工业

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能

• MEMS:微机电系统

• 数据存储

• 汽车

• 医疗器械