KLA Zeta™-Solar光学轮廓仪

KLA Instruments™ 推出新款KLA Zeta™-Solar光学轮廓仪。它是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足特别的太阳能电池金属化需求，针对优良的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计。这款全新的KLA Zeta™-Solar光学轮廓仪利用 3D 成像技术的进步简化了成像系统。提供多种 XY 测量台选项，可满足230mm x 230mm 新一代太阳能电池的测量需求。此外还开发了Zeta-Solar 软件，将易于使用的 Profilm 软件与 成熟的Zeta金属化测量解决方案无缝结合。更强大的测量分析功能提供了专为光伏行业设计的金属化测量方案和质量评判标准。

特征

• 太阳能电池金属细栅、主栅的高度、宽度测量，拥有宽度、高度、高宽比和横截面积的统计分析，以及合格品/不合格品识别分析

• HDR功能，可优化具有超低反射率绒面的栅线测量效果

• 自动拼接功能，可用于大视场 (FOV) 区域测量，如主栅和栅线接触点等

• 采用230mm x 230mm 可编程XY 测量台，适用于新一代太阳能电池产品

• 太阳能电池金属栅线的3D真彩色成像

• 行业优秀的产品性能：可重复性和再现性

应用

• 金属化细栅线

• 金属化主栅线

• 金属化接触/键合垫

• 真彩色成像