KLA Zeta™-300光学轮廓仪

KLA Zeta™-300光学轮廓仪一款非接触式3D表面形貌测量系统。KLA Zeta™-300光学轮廓仪以Zeta-20 3D轮廓仪的功能为基础，具有额外的防震选项和灵活的配置，可处理更大的样品。该 3D 光学量测系统由 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙表面，以及从纳米到厘米范围的台阶高度。

Zeta-300台式光学轮廓仪将六种不同的光学量测技术集成到一个可灵活配置且易于使用的系统中。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-300 也是一款显微镜，可用于抽样检查或缺陷自动检测。Zeta-300 3D 轮廓仪通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能，来支持研发 (R&D) 和生产环境。

特征

• 配合ZDot及多模式光学组件，光学轮廓仪可以容易地实现各种各样的应用

• 用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜

• ZDot：同时收集高分辨率的3D扫描扫描信息和样品表面真彩色图像

• ZXI：采用z方向高分辨率的广域测量白光干涉仪

• ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析

• ZSI：z方向高分辨率

• 图像的剪切干涉测量法

• ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率

• AOI：自动光学检测，可量化样品缺陷

• 生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量

  
  

应用

• 台阶高度：从纳米级到毫米级的3D 台阶高度

• 表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试

• 翘曲：2D或3D翘曲

• 应力：2D或3D薄膜应力

• 薄膜厚度：透明薄膜厚度由 30nm 至 100µm 不等

• 缺陷检测：捕获大于 1µm 的缺陷

• 缺陷表征：KLARF 文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌

行业 发光二极管 (LED)：

• 发光二极管和 PSS（图形化的蓝宝石衬底）

• 半导体和化合物半导体

• 半导体 WLCSP（晶圆级芯片封装）

• 半导体 FOWLP（扇出晶圆级封装）

• PCB（印刷电路板）和柔性印刷电路板

• MEMS：微机电系统

• 医疗器械和微流体器件

• 数据存储

• 大学、研究实验室和研究所