KLA Candela® 8720表面缺陷检测系统

KLA Candela® 8720表面缺陷检测系统采用专有的光学技术，可同时测量两个入射角的散射强度。它可以捕捉到形貌变化、表面反射率、相位变化和光致发光，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。应用包括射频、功率和高亮度LED的氮化镓检测，能够检测裂纹、晶体位错、小丘、微坑、滑移线、凸点和六角凸点以及外延缺陷。KLA Candela® 8720表面缺陷检测系统还可用于其他化合物半导体工艺材料的缺陷检测，例如用于LED、垂直腔面发射激光器和光子学应用的砷化镓和磷化铟。

功能

• 对直径达200毫米的化合物半导体材料进行缺陷检测。

• 支持各种晶圆厚度

• 适用于宏观和微观缺陷，如裂纹、多量子阱扰动、微粒、划痕、凹坑、凸起和沾污缺陷

应用案例

• 衬底质量控制

• 衬底供应商对比

• 入厂晶圆质量控制(IQC)

• 出厂晶圆质量控制(OQC)

• CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

• 晶圆清洗工艺控制

• 外延工艺控制

• 衬底与外延缺陷关联

• 外延反应器供应商的对比

• 工艺机台监控

行业

• 高亮度LED、微型LED包括AR|VR

• 氮化镓的射频和氮化镓的功率应用

• 通信（5G、激光雷达、传感器）

• 其他化合物半导体器件

选项

• SECS-GEM

• 信号灯塔

• 金刚石划线

• 校准标准

• 离线软件

• 光学字符识别(OCR)

• 光致发光