KLA Candela® 6300系列光学表面分析仪系统

KLA Candela® 6300系列光学表面分析仪系统基于激光的硬盘驱动器基板检测系统，可测量整个磁盘的表面形貌，微观粗糙度和波纹度，并检查晶圆表面是否存在缺陷。自动化模型Candela 6340配有片盒对片盒传输系统。

KLA Candela® 6300系列光学表面分析仪系统利用多通道光学设计，结合激光稳定性管理技术，以及强大的光学表面测量功能，对边缘roll-off、纹理/抛光均匀性、高密度互连的表征以及划痕和微粒进行检测。检测和量测系统的光学扫描技术可在径向和切线方向上对整个磁盘的形貌进行量测，并允许制造商使用单一的工具来测量整个空间光谱。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪声以及新的光学设计消除了对用于缺陷检测的溅射玻璃基板的需求，从而可以识别<0.1&angst;的粗糙度变化。

功能

• 提供业界最宽的空间带宽和优秀的本底噪声

• 测量切向、径向粗糙度和波纹度

• 可重复量测金属和玻璃介质并与AFM测量结果相关联

• 对不同尺寸的磁盘进行快速的全晶圆检测

• 对轻微划痕、沾污和微粒检测具有高灵敏度

• 创新型光学表面分析(OSA)技术

• 可提供手动(6310) 或全自动(6340)

应用案例

• 粗糙度和波纹度分析

• 缺陷检测

• 划痕和隆起检查

• 微粒和沾污检测

• 微观波纹度测量

选项

• 精密的金刚石划线

• 离线软件

• 大尺寸软件许可证