KLA NanoFlip纳米压痕仪

KLA NanoFlip纳米压痕仪配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，KLA NanoFlip纳米压痕仪且支持用户创建自己的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。

产品特色

• InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换

• InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs

• XYZ运动系统实现样品定位

• SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步

• 压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准

• InView设备控制和数据处理软件，与Windows^®10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验

产品应用

• 硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）

• 连续刚度测量

• 快速材料力学性能成像

• ISO 14577硬度测试

• 纳米动态力学分析(DMA)

• 定量划痕和磨损测试

适用行业

• 大学、科研实验室和研究所

• 微柱和微球制造

• MEMS：微机电系统

• 材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）

• 电池和组件制造