只需按下一个按钮,您在不到一秒钟的同时测量厚度和折射率。设置同样简单, 只需插上设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 并连接样品平台 , KLA Filmetrics F20台式薄膜厚度测量系统已在世界各地有成千上万的应用被使用. 事实上,我们每天从我们的客户学习更多的应用。
择您的KLA Filmetrics F20台式薄膜厚度测量系统主要取决於您需要测量的薄膜的厚度(确定所需的波长范围)
集成光谱仪/光源装置
FILMeasure 8 软件
FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)
SS-3 样品平台 及對應 光纤电缆
参考材料
厚度标准
整平滤波器 (用于高反射基板)
备用灯
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
F20 | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm-250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm-250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
F3-sX系列 | 10μm-3mm | 960-1580nm |