以真空镀膜为设计目标,KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度测量仪只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。 只需传统价格的一小部分,用户就能进行分析、确定 FWHM 并进行颜色分析。
可选的厚度和折射率模块让您能够充分利用KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度测量仪的分析能力。测量结果能被快速地导出和打印。
集成光谱仪/光源装置
FILMeasure 8 软件
BK7 参考材料
Si 参考材料
防反光板
镜头纸
型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
F10-RT | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F10-RT-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F10-RT-UVX | 1nm-150μm | 190-1700nm |
F10-RT-NIR | 100nm-150μm | 950-1700nm |
F10-RT-EXR | 15nm-150μm | 380-1700nm |