欢迎您来到韦氏纳米系统(深圳)有限公司网站!
产品中心 / products 您的位置:网站首页 > 产品中心 > KLA/科磊 > 探针式轮廓仪 > KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

简要描述:KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

产品型号:

所属分类:探针式轮廓仪

更新时间:2025-03-17

厂商性质:生产厂家

详情介绍

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量,与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化,以确定添加或移除的材料量,以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

  • 台阶高度:纳米级到1200微米

  • 微力:0.03至15毫克

  • 视频:5MP高分辨率彩色相机

  • 梯形失真校正:可消除侧视视图造成的失真

  • 弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差

  • 小巧的尺寸:体积最小的台式探针式轮廓仪

  • 软件:用户友好的软件界面

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

应用

  • 台阶高度:2D台阶高度

  • 纹理:2D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D翘曲和形状

  • 应力:2D薄膜应力

  • 台阶高度:2D台阶高度

  • 纹理:2D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D翘曲和形状

  • 应力:2D薄膜应力

KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

工业

  • 高校、实验室和研究所

  • 半导体和化合物半导体

  • LED:发光二极管

  • 太阳能板

  • MEMS:微机电系统

  • 汽车

  • 医疗设备





留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
18721247059

联系我们

contact us

咨询电话

400-9999-18518721247059

扫一扫,关注我们

返回顶部