KLA Zeta™-388光学轮廓仪

KLA Zeta™-388光学轮廓仪是一款非接触式三维(3D)表面地貌测量系统。KLA Zeta™-388光学轮廓仪基于Zeta-300的功能，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。该系统由ZDot技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低至高反射率及各种粗糙程度的纹理，以及从纳米到毫米范围的台阶高度。

Zeta-388光学轮廓仪集成了六种不同的光学量测技术，构建出一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-388也是一款专业显微镜，可用于抽样检查或缺陷自动检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量、缺陷检测功能和机械手臂操作系统来支持研发和生产环境。

特征

• 采用ZDot及多模式光学技术且便于使用的光学轮廓仪，可应对各种各样的应用程序

• 用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜

• ZDot：同时收集高分辨率的三维(3D)扫描及真彩色无限聚焦图像

• ZXI：采用纵向高分辨率的广域测量白光干涉仪

• ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析

• ZSI：纵向高分辨率图像的剪切干涉术

• ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率

• AOI：自动光学检测，可量化样本缺陷

• 生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量

• 机械手臂操作系统：自动加载直径为50毫米到200毫米的不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

应用

• 台阶高度：从纳米到毫米的3D台阶高度

• 表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试

• 翘曲：2D或3D翘曲

• 应力：2D或3D薄膜应力

• 薄膜厚度：透明薄膜厚度从30nm至100µm不等

• 缺陷检测：捕获大于1µm的缺陷

• 缺陷审查：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌

工业

• 无线通讯器件(SAW/BAW/FBAR)

• 发光二极管(LED)：发光二极管和PSS（图形化的蓝宝石衬底）

• 半导体和化合物半导体

• 半导体WLCSP（晶圆级芯片封装）

• 半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）

• PCB（印刷电路板）和柔性电路板

• MEMS:微机电系统

• 医疗器械和微流体元件