AT650/850P 台式等离子原子层沉积设备，其以热系统，配备新高级空心阴极源与 60 MHz RF，有低氧污染等特点；占地小，可容纳 6 英寸及更小样品，可选定制卡盘；有 4 个有机金属源前驱体、多达 4 个氧化剂 / 还原剂源；具备高温兼容快速脉冲 ALD 阀等；温度范围广，静态处理模式可获高曝光 。