AT610 经济性原子层沉积设备是小占地面积台式系统。采用半导体级金属密封管路以及兼容高温的快速脉冲原子层沉积（ALD）阀。用于集成惰性气体吹扫的超快速质量流量控制器（MFC）。6 英寸圆形卡盘（最大适配 7 英寸方形），可针对更小尺寸或其他形状（高 11 毫米）定制。