Model 32 UV LED 光源由OAI设计与制造。 OAI 推出第二代紫外发光二极管(UV LED)光源。我们全新的 LED 光源系列秉持着与久负盛名的汞弧光源相同的质量和性能标准打造。
Model 30 准直紫外光源及曝光系统由OAI设计与制造。 恒定强度控制器传感器可检测到强度的任何变化,并立即调整灯的输出,误差优于 ±2% 。若有需要,可调节光学积分器以实现更集中、强度更高的曝光 。
MCP-T710 电阻仪由OAI设计与制造。 借助新功能实现一键自动测量,自动保持和定时模式。扩展的测量范围,10⁻⁴~10⁷Ω。
Model 659 紫外线光强与能量计由OAI设计与制造。 适用于所有晶圆步进光刻机的 659 型紫外线光强与能量计 。