Model 32 UV LED 光源

Model 32 UV LED 光源

OAI 推出第二代紫外发光二极管（UV LED）光源。我们全新的 LED 光源系列秉持着与久负盛名的汞弧光源相同的质量和性能标准打造，同时具备固态技术与生俱来的优势。我们的紫外 LED 光源系列可应用于光刻、固化、微流体以及生物医学激活等领域。该全新光源系列可集成到原始设备制造商（OEM）的应用中，与 OAI 掩模对准器配合使用，改装到传统掩模对准器上，或作为独立曝光工具购置 。

LED 光源相较于传统汞弧灯有几个固有的优势。两个明显的主要优势是能耗和拥有成本。在进行曝光的整个过程中，汞弧灯必须一直开启。考虑到电源效率，1000 瓦的汞弧灯实际消耗的电量甚至超过 1000 瓦。在 8 小时的生产周期内，灯可能要开启 9 个多小时，耗电量超过 9 千瓦时。相比之下，LED 光源（LED LS ）仅在工艺的实际曝光时间内开启。例如，如果曝光时长为 10 秒，且每分钟曝光一次，那么在 8 小时的轮班中，总曝光时间将为 1.33 小时。以 1000 瓦功率计算，LED 光源的总耗电量仅为 1.3 千瓦时，节能幅度超过 6 倍！

汞弧灯的第二个主要缺点是其使用寿命，这导致了更高的拥有成本。大多数汞弧灯使用约 1000 小时后就需要更换。更换灯时需要让设备离线以进行更换操作，进一步增加了拥有成本。通常，还需要重新校准强度控制回路，这可能会导致工艺波动和产量损失。相比之下，LED 光源无需更换灯。LED 的使用寿命非常长，且仅在实际曝光时间内开启。这使得该光源在达到使用寿命前能够进行数百万次曝光 。

LED 光源设计相关要点

OAI LED 光源（LED LS）的设计确保了系统中单个 LED 的自然老化不会影响光源输出光束的质量。光线从 LED 收集后，先经过准直，再通过一组微透镜实现光束均匀化。最终，光线被准直为具有小发散角的高度均匀光束。这种设计能产生光束质量，使 OAI LED 光源的用户在接触式和接近式光刻中实现最高性能。其界面是一个简单的触摸屏，用户可通过它控制光源的输出功率，若是多波长系统，还能控制所需波长的比例 。

LED 光源的性能特点

OAI LED 光源具有优异的性能特点。典型的辐照度均匀性为 ±3%，准直角 < 2.5°。为实现精确且可重复的曝光，所有 OAI LED 光源均配备强度和剂量控制。典型 8 英寸方形 LED 光源的光束特性如下：强度分布具有平坦的空间均匀性，半高全宽辐射强度对应的准直角为 1.8° 。

LED 光源配置

LED 光源（LS）的标准光束尺寸为 4 英寸方形、6 英寸方形、8 英寸圆形和 12 英寸方形。该系统可配置为单波长或双波长模式，标准波长包括 365nm、405nm 和 436nm—— 这些波长均模拟了光刻胶优化所基于的汞弧灯光谱，特殊波长可按需定制。各标准波长的光谱分布及相对积分功率如下所示。