Model 2000 边缘去胶紫外泛光曝光机由OAI设计与制造 2000SM型可显著减少因常规晶圆操作而产生的颗粒污染。在OAI 2000SM型和2000FL型系统中，机器人是主要移动部件，这一设计极大地简化了这套系统。