AT410 经济型原子层沉积设备具备诸多优势：为占地小的桌面系统，尺寸明确；有新增功能可用的空心阴极射频源（AT - 410 Plus 配 300W 等离子）

ANRIC推出了目前市场上占地面积最小的原子层沉积（ALD）设备。AT200M 经济型原子层沉积设备型号体积小巧，足以放入手套箱内，因此成为对湿气或空气敏感的沉积工艺的理想解决方案。