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Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机设计用于支持侵蚀性和腐蚀性工艺气体。等离子室已被更耐化学腐蚀的蓝宝石管所取代。真空密封设计和腔室材料的选择已被优化,以支持等离子体内部的腐蚀性自由基。对于需要对石英腔室进行等离子体蚀刻的应用,SEMI-KLEEN 蓝宝石是比传统石英腔室等离子体源更好的选择。
Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机已被用于存款薄膜,在原子层沉积系统中薄膜沉积之前清洁样品表面,以及从金属表面清洁碳和氧污染物。客户的测试结果表明,SEMI-KLEEN 等离子体源仅需 2 秒的氢等离子体就可以去除 InGaAs 样品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 蓝宝石等离子体源可用于仅由涡轮泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的压力范围内工作。