EM-KLEEN等离子体清洗机可用于电子显微镜和其他类型分析仪器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的样品和真空室的原位清洁。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳氢化合物和氟碳化合物污染物，提高极限真空水平，减少抽气时间。它还可以在表面成像和分析之前去除样品表面上的有机污染物。该系统包括一个电阻式液晶触摸屏控制器与嵌入式微计算机和远程等离子体源。应在待清洁的真空室上安装远