关于Ion Source离子源 等离子离子源 LMIS 和 GFIS 是三种常见的离子源类型。LMIS 和 GFIS 具有出色的源亮度。因此，它们被广泛用于高分辨率离子束成像和微加工应用。然而，LMIS 和 GFIS 的总电流比等离子离子源低许多数量级。如果特征尺寸大于 50 nm，则等离子离子源可以实现比 LMIS 和 GFIS 高得多的通量。