关于SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子体清洗机基于劳伦斯伯克利国家实验室开发的高效电感耦合等离子体（ICP）放电技术。与传统 ICP 放电技术相比，我们的 Turbo Discharge™技术进一步提高了等离子体强度多达 3 倍。