AT 臭氧发生器

AT 臭氧发生器

AT 臭氧发生器采用高品质元器件，能以极小的体型提供高浓度（最高 12%）臭氧。该系统无需昂贵且笨重的水冷装置，内置的高速风扇即使在长时间或持续使用时，也能保持等离子体室的冷却。可在臭氧、氧气和关闭状态之间进行手动或自动切换。

特征

• 
  

• · 臭氧产生范围：低流量时 12% 重量%，高流量时 6%。

• · 集成 O₂ 调节器：3 – 29 psi

• · 用于非循环臭氧流的高容量臭氧破坏器

• · 可通过 3 – 24V 输入信号控制

• · 用于手动臭氧控制的超控开关

• · 用于选择 O₂ 或臭氧输出的前面板开关

规格

• · 臭氧产生范围：低流量 （250 sccm） 时 12% 至高流量 （2500 sccm） 时 6% （按重量计）

• 电晕电池由铝制成，带陶瓷电介质

• 工作频率：5,000 – 30,000 Hz

• · 氧气/臭氧流量范围：25 – 2500 sccm，带面板集成流量控制

• · 集成 O₂ 调节器：3-29 psi 范围

• · 自动臭氧控制需要 3-24V 直流输入信号

• · 110 – 220 伏交流电，60/50 赫兹，2A

• · 重量 15 磅

• · 尺寸：10.3 英寸宽 x 7.5 英寸高 x 20 英寸深

选件

安全监测仪

• 
  

• 绿色：臭氧水平低于 1500 ppb

• 黄色：臭氧水平 1500ppb 至 3500 ppb

• 红色：臭氧水平大于 3500ppb

• 监控并与 AT 系列系统集成

• 检测高达 5000ppb 或 5ppm

• 环境臭氧气体的实时检测

• 温度和湿度检测

• 带 LCD 显示屏的壁挂式支架

• 提供一个开/关干接点继电器输出来控制臭氧发生器

• 将预先连接到臭氧发生器以进行自动关闭

安装

有关确切的详细信息和更多安全预防措施，请参阅 ATOzone – 安装和作手册：

1. 建议在后输入管（1/4“ 世伟洛克压缩接头）输入 98+% 氧气（至少需要 90% 纯度）

2. 排气口（1/4“ 世伟洛克压缩接头）能够处理 0.5 scfh 的纯 O2 到适当的车顶排气或同等排放。

3. 臭氧从前端口（1/4“ 世伟洛克压缩接头）出来，应连接到 ALD 工具（也已适当排气）。

4. 将电源线连接到背面（标准 110-220VAC）

5. 将前面的 （O2） 压力阀转至 15 psi，将压力表转至 0.2 至 0.4 scfh

6. 前面的开关现在应定位为 O3（臭氧）

7. 如果所有连接都已建立，则当发出 + 3 至 24V 控制信号时，控制 O2 流量的阀门将打开（将产生臭氧）。事先确保排气管连接正确！任何时候都不要排气到房间。

8. 臭氧也可以通过提起背面的红色保护器并向上翻转手动臭氧开关来产生。
   – 现在打开前面板臭氧开关 （O3） 会将臭氧输送到前端口（进入适当排气的 ALD 工具）。

9. 关闭背面的保护盖可关闭臭氧。

10. 连接到真空系统时， 始终保持系统上流动的氧气正压。在 ATOzone 系统上拉动真空将使保修失效 。