NV-中心共聚焦低温显微镜的工作原理是将激光束穿过光源孔径，该光源孔径由物镜聚焦到样品表面的小区域，并通过收集样品表面发射的光子逐像素构建图像。 LT-SCM 提供高分辨率图像，整个视场内所有区域都聚焦，即使对于表面有凹痕和突起的样品也是如此。它可以在可变温度下进行非接触式和无损测量。