KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪系列，涵盖近红外光波长范围980 nm、1310 nm及1550 nm，能够测量从15纳米至3毫米的薄膜厚度，适用于半导体与介电层等材料。该设备具备单点测量功能，配备10微米光斑尺寸的集成光谱仪和光源，并支持扩展功能如自动化测绘平台和不同波长选项。此外，它还提供了超过130种材料的数据库支持，以及在线技术支持服务。

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度测量系统专为微小视野及样品设计，支持快速、简易的厚度测量，适用于聚对二甲苯和真空镀膜层等。其具备自动校正功能，可自动调节灵敏度并简化设置过程。系统可通过USB供电，并兼容多种Windows操作系统。

KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度测量仪通过同时测量反射和透射光谱，实现真空镀膜的快速、精确分析。该设备价格合理，具备分析、FWHM确定及颜色分析功能，并可通过选配模块扩展其厚度和折射率测量能力。配备FILMeasure 8软件和多种参考材料，支持多种薄膜类型，覆盖从紫外到近红外的宽波长范围，提供高效的测量结果输出及全面的技术支持服务。

KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度测量仪是一款专为测量单层和多层硬涂层设计的仪器，基于F20平台，采用光谱反射分析技术，提供快速准确的测量结果。该设备已在世界各地广泛使用，尤其受到汽车硬涂层公司的青睐。附带全套软件、探头及参考材料等配件，并提供持续的技术支持与升级服务。

KLA Filmetrics F20台式薄膜厚度测量系统;经济实惠的膜厚仪系列在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合，可提供最大的通用性，可测量厚度为 1 纳米至 3 毫米的薄膜。