KLA Filmetrics F10-ARc薄膜厚度测量仪便携式反射仪带有内部光纤，利用具有长寿命、低功率光源可以测量曲面上的减反射涂层厚度。以极低的价格在几秒钟内测量到颜色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度测量仪便携式反射仪带有内部光纤，利用具有长寿命、低功率光源可以测量曲面上的减反射涂层厚度。以极低的价格在几秒钟内测量到颜色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics R50系列四探针电阻测试仪，方块电阻测试仪可对金属层厚度、薄膜电阻、薄膜电阻率、薄膜电导和薄膜电导率进行测绘。R54是方块电阻测量的最新一代升级款，它在保持 R50相同性能情况下提供遮光环境，能够支持半导体和化合物半导体应用。

KLA NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。

KLA iNano®纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。