Tergeo-Pro桌面等离子清洗机

Tergeo-Pro桌面等离子清洗机未来将腔室直径增加到 9″（230 mm）。腔室的深度增加到 13.4″（430 mm）。

Tergeo-Pro桌面等离子清洗机足够大，可以容纳 8 英寸晶圆。它也足够大的一个或两个 25/50 插槽 6“或 4"石英晶圆船。Tergeo-Pro桌面等离子清洗机可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射频功率。射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整。射频功率的频率为 13.56MHz，这提供了比 KHz 射频等离子体系统高得多的等离子体产生效率。Tergeo-Pro桌面等离子清洗机不仅可以调节射频功率瓦数，还可以产生连续或脉冲等离子体。脉冲比可以从 100%调整到小于 1%。石英腔室壁结构使外部电容耦合射频电极设计成为可能，从而在整个腔室中产生更均匀的等离子体。

Tergeo-Pro桌面等离子清洗机规格和特点：

*Tergeo-Pro桌面等离子清洗机的应用与较小的 Tergeo桌面等离子清洗机相似，不同之处在于它可以接受更大的样品。以下是典型应用的列表：

• 光致抗蚀剂灰化、除渣和硅晶片清洗

• 在引线键合、倒装芯片封装、PCB 封装之前清洁芯片

• 生物医用涂层前的表面处理及提高医用植入物的亲水性

• 环氧树脂粘合前的光学、玻璃、光纤头和基板清洁

• PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室

• 改善金属对金属或复合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和复合材料的粘合

Tergeo-Pro桌面等离子清洗机的产品特点：

• 大样品室（ID：9″/230 mm，深度：13.4″ /340 mm）。足以容纳 8 英寸晶圆，一个或两个 25/50 插槽 6″/4″石英晶圆舟。

• 等离子体放电方法：电容耦合等离子体放电与外部弯曲放电电极。

• 连续和脉冲等离子体。脉冲比可以从 100%（连续）变为小于 1%。Tergeo 等离子体系统不仅可以通过 1 瓦的间隔调整射频功率，而且可以产生连续和脉冲等离子体。使等离子体强度改变几个数量级以上。

• 操作方式：自动配方执行、自动作业顺序执行、手动操作。

• 等离子体传感器：等离子体强度传感器实时监测等离子体状态，并向用户提供关于不同配方条件下等离子体强度的定量反馈。等离子体传感器还可以监测等离子体灰化过程的进展并用作终点指示器。等离子体强度实时显示在 LCD 触摸屏上。

• 先进的过程控制功能：压力传感器、温度传感器、MFC 气体流量计、等离子体强度传感器、自动阻抗匹配。

• 灭菌室设计：铝法兰和厚壁高纯度石英管增强了耐化学性，减少了派热克斯玻璃中的碱性杂质（Ca、K、Na）。

• 样品保持器：4mm 厚高纯石英板，尺寸：220 mm X 280 mm。

• 腔体尺寸：内径：9″/230 mm;外径：9. 44 ″/240 mm;深度：13. 4 ″/340 mm

• RF 电极：围绕石英管缠绕的外部电容耦合 RF 电极。外部射频电极设计能够实现更大、更均匀的等离子体体积，并且还消除了与内部金属射频电极设计相关的离子溅射和加热问题。

• 射频电源：13.56MHz 高频射频电源，具有自动阻抗匹配功能。射频功率有三种选择：13.56MHz 时的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整。13.56 与低效率、低成本的 KHz 电源相比，MHz 射频电源产生的等离子体密度要高得多。

• 气体输入：多达三个 MFC 控制气体输入（0~ 100 sccm）。一个额外的端口用于通风和吹扫。1/4 英寸世伟洛克压缩接头连接器。

• 用户界面：7 英寸电阻式触摸屏，用手指触摸，无需手写笔。

• 食谱和工作支持：共有 20 个可定制的食谱。作业序列中最多三个清洁步骤

要求：

• 交流输入：110 V ~ 230 V 通用交流电源支持

• 泵口：NW/KF 25

• 抽真空速度：3.5 cfm 或更高。

• 真空泵的极限压力：50 mTorr 或更低