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TEM 样品架真空泵站是一款高真空 TEM 样品架储存、泄漏检查和等离子体清洁室
每个单元总共 6 个存储单元
每个存储单元都可以使用电磁阀单独泵送或排气。取出其中一个支架时,剩余的电池仍然可以保持在真空下。
多个存储系统可以链联以共享同一个真空泵。它还可以与 Tergeo-EM 系统共享同一真空泵。
它可以通过无油干式涡旋泵或涡轮泵站进行泵送。
真空泵与储存站分开,易于维护,必要时可对泵进行维修。
所有金属管均在真空下,以最大限度地减少废气,从而减少污染。
稳定的工作温度略高于室温,这有助于样品架更快地脱气。
Tergeo-EM:集成的独立 TEM/SEM 等离子清洗机。