TEM cube多用途样品清洁及储存腔室

TEM cube多用途样品清洁及储存腔室是高真空 TEM 样品架储存、泄漏检查和等离子体清洁室

TEM cube多用途样品清洁及储存腔室可用于在高真空下存储多达 8 个 TEM 样品架（极限真空在 10 -7 Torr 范围内）。真空度足够高，可以检查原位 TEM 芯片的泄漏。它还可以配备远程 EM-KLEEN 等离子源，以在腔室中进行等离子清洁。腔室的大小为 9 英寸立方。它可以拟合相当大的 TEM 和 SEM 样品和组件。房间有一个玻璃前门用于观察。

标准泵送配置是将腔室直接放置在 Pfeiffer 涡轮分子泵站的顶部。但也可以使用干式涡旋泵对腔室进行泵送。

与我们的常规 TEM 样品架真空储存站相比，TEM cube多用途样品清洁及储存腔室上的每个储存端口都不能单独通风或抽气，因为所有储存端口共享同一个大真空室。取回 TEM 样品架需要更长的时间，因为必须对整个腔室进行通风才能取回一个存放的 TEM 样品架。

如果腔室上安装了 EM-KLEEN 等离子体源，则可以使用 TEM 立方体对 TEM 样品架和样品进行等离子清洗。但 EM-KLEEN 等离子源只能接受一个气体输入。独立的 Tergeo-EM 等离子清洗机最多可使用三种工艺气体。TEM 立方体的排气和抽气时间也比独立的 Tergeo-EM 等离子体系统长。Tergeo-EM 等离子系统还具有全自动作和更高的系统集成水平。

规格：

1. 极限真空度：10 -7 Torr 中

2. TEM 样品架适配器：最多 8 个，每侧 4 个。

3. 腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸。

4. 腔室门：带锁定旋钮的铰链玻璃窗。

5. 泵口：底部涡轮分子泵站为 ISO63。或 NW40/NW25 端口，用于干式涡旋泵。

6. NW40 或 NW25 端口，用于全量程压力传感器。

应用：

1. 用于 TEM 样品架、TEM 样品和大型 EM 组件的高真空存储。

2. 原位 TEM 样品架和芯片泄漏检查。

3. TEM 支架、样品和组件的等离子清洗。

相关产品：

Tergeo-EM：集成的 TEM/SEM 等离子清洗剂，用于去除碳氢化合物污染和处理冷冻电镜网格和原位芯片。