欢迎您来到韦氏纳米系统(深圳)有限公司网站!
产品中心 / products 您的位置:网站首页 > 产品中心 > PIE scientific > 气体混配器 > Gas Mixers气体混配器

Gas Mixers气体混配器

简要描述:Gas Mixers气体混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子源

产品型号:

所属分类:气体混配器

更新时间:2025-06-24

厂商性质:生产厂家

详情介绍

Gas Mixers气体混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子源的气体混配器

Gas Mixers气体混配器

关于Gas Mixers气体混配器

SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列远程等离子源只能接受一个气体输入。对于某些研究项目,用户可能需要为 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 远程等离子体源混合多种工艺气体。此处列出的三端口气体混配器集成了多达三个质量流量受控气体输入端口、一个排气/旁路泵端口和一个混合气体输出端口。气体输出端口应连接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 远程等离子清洗机上的气体输入端口。如果需要高纯度气体输送,排气/旁通泵出口提供高电导泵送途径,以排空气体管。

Gas Mixers气体混配器

特征:

  • 触摸屏用户界面

  • 多达 3 个质量流量受控的气体输入端口

  • 用于通风室和高速抽气管的排气/旁路端口。

  • 不同气体种类的流速补偿

  • 集成计时器

  • 110~230V 通用交流电源输入。




留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
18721247059

联系我们

contact us

咨询电话

400-9999-18518721247059

扫一扫,关注我们

返回顶部