关于Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子体清洗机基于劳伦斯伯克利国家实验室开发的高效电感耦合等离子体（ICP）放电技术。与传统 ICP 放电技术相比，我们的 Turbo Discharge™技术进一步提高了等离子体强度多达 3 倍。

关于Semi-KLEEN Quartz石英等离子体清洗机 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子体清洗机基于劳伦斯伯克利国家实验室开发的高效电感耦合等离子体（ICP）放电技术。与传统 ICP 放电技术相比，我们的 Turbo Discharge™技术进一步提高了等离子体强度多达 3 倍。

EM-KLEEN等离子体清洗机可用于电子显微镜和其他类型分析仪器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的样品和真空室的原位清洁。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳氢化合物和氟碳化合物污染物，提高极限真空水平，减少抽气时间。它还可以在表面成像和分析之前去除样品表面上的有机污染物。该系统包括一个电阻式液晶触摸屏控制器与嵌入式微计算机和远程等离子体源。应在待清洁的真空室上安装远

Tergeo-EM TEM/SEM 等离子体清洗机专为研究、开发和小批量生产而量身定制。在表面清洗、活化、有机污染物去除、粘合增强和光刻胶灰化方面表现出色。其精度和多功能性使其成为纳米技术、材料科学、微加工和故障分析应用的理想选择。凭借免维护设计和低拥有成本，提供了长期价值。

Tergeo-Pro桌面等离子清洗机和蚀刻机专为研究、开发和小批量生产而量身定制。Tergeo系列桌面等离子清洗机在表面清洗、活化、有机污染物去除、粘合增强和光刻胶灰化方面表现出色。其精度和多功能性使其成为纳米技术、材料科学、微加工和故障分析应用的理想选择。凭借免维护设计和低拥有成本，Tergeo 系统提供了长期价值。