RSS-3X210 紧凑型回流焊系统 适用于最多 12 片直径为 100 毫米的晶圆。温度最高可达 300°C。升温速率最高可达 120 开尔文 / 分钟。降温速率为 60 开尔文 / 分钟。真空度可达 10⁻³ 百帕。