VSS-650 真空焊接系统 适用于最大尺寸达 600 毫米 ×600 毫米的基板。升温速率最高可达 240 开尔文 / 分钟，降温速率最高可达 90 开尔文 / 分钟。配备 10 英寸触控面板的 SIMATIC® 控制器。真空度可达 10⁻³ 百帕（可选配至 10⁻⁶百帕 ）。带有用于氮气的质量流量控制器的工艺气体管路。温度最高可达 450 摄氏度。